產品簡介
負荷鎖定型濺射裝置CS-200是支持從研究開發到小規模生產的負荷鎖定型濺射裝置
公司簡介
青島泰斯邁儀器設備有限公司是專業半導體設備公司,有完善的服務和銷售體系。專業經營各類進口機械設備,儀器儀表及各種配件的一站式進口產品綜合服務商.我司主要代理巴克拉克BACHARACH鹵素檢漏儀H25-IR PRO,冷媒回收機,冷媒分析儀;愛發科ULVAC-氦質譜檢漏儀;愛發科ULVAC-真空計;愛發科ULVAC-真空泵;新機械NEW-MACHINE-快速接頭;神港精機SHINKO SEIKI-真空泵;東洋克斯TOYOX-膠管;康泰克CONTEC-板卡,工控機;大進DAISHIN-自動焊接機,點火器;德國SEW-電機減速機;松村MORESCO-潤滑油;出光IDEMITSU-潤滑油;
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產品說明
產品特性:
? 通過利用常規過程數據和專有技術重新設計了易用性
? 通過在負載鎖定室中安裝暗盒機構(可選)來提高生產率
? zui大基板傳送尺寸為Φ300mm(在中心Φ200mm處保證了厚度分布)。
? 支持堆疊/同時濺射多個陰極
? 通過觸摸屏和配方輸入自動處理,節省了人工
? 可以記錄數據
產品應用:
? 電極成膜/多層電極及同時成膜應用
? 形成狄登膜,絕緣膜,鈍化膜,保護膜等
? 用于電子零件和小規模生產的研發
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