產品簡介
研究開發向NLD干法刻蝕設備NLD-570，是搭載了愛發科開創的磁性中性線（NLD- neutral loop discharge）等離子源的裝置，此NLD技術可實現產生低壓、低電子溫度、高密度的等離子。
公司簡介
青島泰斯邁儀器設備有限公司是專業半導體設備公司，有完善的服務和銷售體系。專業經營各類進口機械設備,儀器儀表及各種配件的一站式進口產品綜合服務商.我司主要代理巴克拉克BACHARACH鹵素檢漏儀H25-IR PRO,冷媒回收機,冷媒分析儀;愛發科ULVAC-氦質譜檢漏儀;愛發科ULVAC-真空計;愛發科ULVAC-真空泵;新機械NEW-MACHINE-快速接頭;神港精機SHINKO SEIKI-真空泵;東洋克斯TOYOX-膠管;康泰克CONTEC-板卡,工控機;大進DAISHIN-自動焊接機,點火器;德國SEW-電機減速機;松村MORESCO-潤滑油;出光IDEMITSU-潤滑油;
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產品說明
產品簡介：
研究開發向NLD干法刻蝕設備NLD-570，是搭載了愛發科開創的磁性中性線（NLD- neutral loop discharge）等離子源的裝置，此NLD技術可實現產生低壓、低電子溫度、高密度的等離子。。
產品特性：
NLD用于與ICP方式相比更低壓、高密度、更低電子溫度等離子體的石英、玻璃、水晶、LN/LT基板的加工
? 高硬玻璃、硼硅酸玻璃等不純物的多種玻璃加工，在形狀或表面平滑性方面有優異的刻蝕性能
? 石英及玻璃作為厚膜resist mask時的也可實現深度刻蝕（100μ m以上）
? 可實現高速刻蝕（石英＞1μ m/min、Pyrex＞0.8μ m/min）
? 可追加cassette室
產品應用：
? 光學器件（光衍射格子、変調器、光開關等等）、凹凸型微透鏡
? 流體路徑作成或光子學結晶
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