韓國MKP氣體質量流量控制器VIC-D145
韓國MKP氣體質量流量控制器VIC-D145
韓國MKP氣體質量流量控制器VIC-D145
產品介紹
MKPrecision(株）自2004年成立以來，作為代表韓國的MFC先導企業，取得了飛躍性的發展。通過國內（獨）立的技術力，系統化，專業性地開發，制造，供應世,界領,先的最尖端半導體設備,主要產業用設備內核心配件MFC，與韓國產業發展同步持續成長。另外，不安于現狀，為了全,球化，不斷擴大出口，向著全.球技術先導企業，向著全世.界拓展舞臺。
從國內最初成功實現MFC國產化到成為國內代表性MFC企業，經歷了很多困難和失敗。但是，在克服這些困難和失敗的過程中所積累的很多經驗和技術力成為了能夠滿足隨著產業發展不斷提高的客戶需求的原動力。
MKP流量控制器和流量計廣泛應用于:真空鍍膜設備、光電產業到工業工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入，直拉式晶爐，精密半導體、燃料電池、氣調儲存保鮮相關設備、生物反應器、生物過程控制器、大學實驗室、研究所、食品及制藥產業、醫療設備、氣相色譜儀等相關行業。
產品參數
VIC-D200 Series
因適用PTFE DISK，整個區間的回應時間快
對毒性和腐蝕性氣體的耐久性大幅增加
采用浪涌及耐電壓保護電路
通過溫度補正，在周圍溫度變化下也可維持準確度
流量范圍（N2標準）：5sccm~1.5slm
流量控制器范圍：滿量程：2~100%
準確度：滿量程≤±1%
回應時間：≤ 1.0 sec (10 ~ 100%)
線性: 滿量程的≤ ± 0.2%
運轉原理：熱式
控制閥形勢：Normally Closed Solenoid
輸入輸出信號：模擬性: 0 ~ 5Vdc or 4 ~ 20mA
數字型: RS-485(Optio
nal : DeviceNet, EtherCat)
電源供應：+15VDC ~ +24VDC
運轉溫度：5 ~ 50℃ (建議溫度范圍: 15 ~ 35℃)
連接器：Standard : D-SUB 9 pin Male
Optio
nal : DeviceNet Micro style Connector, RJ45
重量：1KG
型號：
VIC-D0200系列
VIC-D210，VIC-D220，VIC-D240，VIC-D245，VIC-D145，VIC-D150
TSM-D210，TSM-D220，TSM-D230，TSM-D240，TSM-D245，TSM-D250，TSM-D260，TSM-D250，TSM-D220D
TSC-D Series
TSC-D230，TSC-D245，TSM-D250，TSC-D210，TSC-220，TSC-245，TSC-200，TSC-230，TSC-145，TSC-150，TSC-210
模擬質量流量控制器：
M3030VA M3100VA M3200VA MS3150VA MS3400VA MS3500VA，MS3600VA，MS3700VA，MS3800VA
數字質量流量控制器
MD100C MD30C MD400C MD500C MD600C MD700C MD800C
模擬質量流量計
M2030VA M2100VA M2200VA MS2150VA MS2400VA MS2500VA MS2600VA MS2700VA MS2800VA
M2030A M2050V M2050A M2100V M2100A
UTIX勻膠TOP流量計
UF70-TF-T2-TO-JW20CCT
UF70-TF-T2-TO-JW150CCT
UF70-TF-T2-TO-JW500CCT
UF70-TF-T2-TO-JW50CCT
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