上海伯東代理電子束蒸鍍?cè)O(shè)備

伯東企業(yè)（上海）有限公司

會(huì)員指數(shù)：

企業(yè)認(rèn)證：

價(jià)格：電議

所在地：上海

型號(hào)：

更新時(shí)間：2022-12-09

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公司地址：上海浦東新區(qū)新金橋路1888號(hào)36號(hào)樓7樓702室

13918837267 葉小姐(女士) 銷售工程師

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

電子束蒸發(fā)與熱蒸發(fā)對(duì)比, 能夠在非常高的溫度下熔化材料, 如鎢, 石墨 ... 等等. 結(jié)合石英震蕩片的反饋信號(hào), 可輕松控制蒸發(fā)速率, 以調(diào)節(jié)電子束電流并蒸發(fā)更多材料而不會(huì)破壞真空. 因此, 電子束蒸發(fā)用于薄膜制程領(lǐng)域, 包括半導(dǎo)體, 光學(xué), 太陽能電池板, 玻璃和建筑玻璃, 因此它們具有所需的導(dǎo)電, 反射, 透射和電子等特性.

公司簡(jiǎn)介

伯東企業(yè)（上海）有限公司專業(yè)代理各國(guó)知名真空產(chǎn)品位于中國(guó)上海浦東外高橋保稅區(qū)的伯東企業(yè)（上海）有限公司創(chuàng)建于1995年12月，是日本伯東株式會(huì)社獨(dú)資設(shè)立的外商投資企業(yè)，公司注冊(cè)資金為200萬美元，到目前為止公司從業(yè)員工有400多人。
伯東企業(yè)（上海）有限公司 (www.hakuto-vacuum.cn）專業(yè)銷售及維修德國(guó)Pfeiffer單雙級(jí)旋片泵，干泵，羅茨泵，分子泵；應(yīng)用于各種條件下的真空測(cè)量(真空計(jì), 真空規(guī)管)；檢漏儀，質(zhì)譜儀，真空系統(tǒng)等等, 維修技術(shù)力量雄厚，保證 100 % 擁有標(biāo)準(zhǔn)的德國(guó)Pfeiffer原廠測(cè)試設(shè)備及調(diào)整工具和德國(guó)Pfeiffer專業(yè)培訓(xùn)工程師，多年來致力于真空系統(tǒng)的安裝、調(diào)試、維修、拆機(jī)、保養(yǎng)等，具有優(yōu)良的專業(yè)技能和服務(wù)意識(shí)，并獲得原廠授權(quán)維修資質(zhì)證書。利用 Pfeiffer 進(jìn)口檢測(cè)設(shè)備對(duì)維修后的產(chǎn)品做全方位性能測(cè)試。另外公司還代理美國(guó)Brooks CTI Cryopump 冷凝泵/低溫泵, Polycold 冷凍機(jī)和美國(guó)KRI 離子源，HVA 高真空閥門。
公司一直堅(jiān)持品質(zhì)一、信譽(yù)至上的原則，為廣大客戶提供了高品質(zhì)的產(chǎn)品以及良好的售后服務(wù)。到目前為止已先后通過了美國(guó)UL安全認(rèn)證、ISO9001－2000質(zhì)量體系認(rèn)證、ISO14001－1996環(huán)境體系認(rèn)證。公司將在今后的發(fā)展中秉承以人為本，不斷開拓進(jìn)取的精神，為滿足客戶的需求努力向?qū)I(yè)化、優(yōu)質(zhì)化、集團(tuán)化發(fā)展。

展開

產(chǎn)品說明

電子束蒸鍍?cè)O(shè)備 E-beam Evaporation System
電子束蒸發(fā)與熱蒸發(fā)對(duì)比, 能夠在非常高的溫度下熔化材料, 如鎢, 石墨 ... 等等. 結(jié)合石英震蕩片的反饋信號(hào), 可輕松控制蒸發(fā)速率, 以調(diào)節(jié)電子束電流并蒸發(fā)更多材料而不會(huì)破壞真空. 因此, 電子束蒸發(fā)用于薄膜制程領(lǐng)域, 包括半導(dǎo)體, 光學(xué), 太陽能電池板, 玻璃和建筑玻璃, 因此它們具有所需的導(dǎo)電, 反射, 透射和電子等特性.
上海伯東代理 SYSKEY 臺(tái)灣矽碁科技電子束蒸鍍?cè)O(shè)備是一種實(shí)用且高度可靠的系統(tǒng), 蒸鍍系統(tǒng)可針對(duì)量產(chǎn)使用單一坩堝也可以有多個(gè)坩堝來達(dá)到產(chǎn)品多層膜結(jié)構(gòu). 在基板乘載上針對(duì)半導(dǎo)體研究和大型設(shè)備設(shè)計(jì), 單片和多片公自轉(zhuǎn)的設(shè)計(jì)可以控制蒸發(fā)速率, 薄膜厚度和均勻度小于 +/- 3％. 腔體的極限真空度約為 10^-8 Torr. 為了獲得最大的制程靈活性, 可以結(jié)合美國(guó) KRi 離子源進(jìn)行離子輔助沉積或者預(yù)清潔等功能.
SYSKEY 電子束蒸發(fā)系統(tǒng)
上海伯東電子束蒸鍍?cè)O(shè)備配置和優(yōu)點(diǎn)
客制化的基板尺寸, 最大直徑可達(dá) 12寸晶圓
單載片或多載片 (2” x 32個(gè)，4” x 16個(gè)，6” x 6個(gè)，8” x 4個(gè)）
薄膜均勻度小于 ±3％
具有水冷坩堝的多組坩鍋旋轉(zhuǎn)電子束源 (1/2/4/6坩堝）
自動(dòng)鍍膜系統(tǒng)
具有順序操作或共沉積的多個(gè)電子束源
基板具有冷卻 (液態(tài)氮溫度低至-70°C) 或加熱 (溫度最高800°C) 等功能
電子束蒸鍍?cè)O(shè)備基本參數(shù)

系統(tǒng)	Real 超高真空	超高真空	高真空
極限真空	5X10^-10Torr	5X10^-9Torr	3X10^-7Torr
腔室密封	全部 CF	一些密封圈	全部密封圈
Load-lock	標(biāo)準(zhǔn)	標(biāo)準(zhǔn)	可選
E-beam 源	4-6 坩堝 7-25 cc	4-6 坩堝 7-25 cc	4-6 坩堝 7-25 cc
基板	4-8 英寸加熱 / 水冷 / 液氮冷卻	4-8 英寸加熱 / 水冷 / 液氮冷卻	4-8 英寸加熱 / 水冷 / 液氮冷卻
真空泵	低溫泵	低溫泵 / 分子泵	低溫泵 / 分子泵
監(jiān)控	真空規(guī) 和 QCM	真空規(guī) 和 QCM	真空規(guī) 和 QCM
工藝控制	速率控制	速率控制	速率控制
供氣	氮?dú)?	氮?dú)?	氮?dú)?

SYSKEY 電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng) E-Beam
腔體
由 304不銹鋼所制成, 通過外部焊接 304不銹鋼管線對(duì)腔體進(jìn)行水冷
寬大的前開式門, 并有兩個(gè)窗口和窗口遮版用于觀察基材和電子束源
腔體的極限真空度約為 10^-8 Torr
選件
可以與傳送腔, 機(jī)械手臂和手套箱整合在一起
結(jié)合美國(guó) KRi 離子源, 濺鍍槍, 熱蒸發(fā)源, 等離子清潔...
應(yīng)用領(lǐng)域
光學(xué)材料研究 (LED / Laser Diode)
光電元件
半導(dǎo)體元件
對(duì)傳統(tǒng)熱蒸發(fā)技術(shù)難以實(shí)現(xiàn)的材料蒸發(fā), 可采用電子束蒸發(fā)的方式來實(shí)現(xiàn). 不同于傳統(tǒng)的輻射加熱和電阻絲加熱, 高能電子束轟擊可實(shí)現(xiàn)超過 3000℃ 的局域高溫, 這使得絕大部分常用材料都可以被蒸發(fā)出來, 甚至是高熔點(diǎn)的材料, 例如, Pt, W, Mo, Ta 以及一些氧化物, 陶瓷材料等. 上海伯東代理的電子束蒸發(fā)源可承載 1-6種不同的材料, 實(shí)現(xiàn)多層膜工藝; 蒸發(fā)源本身防污染設(shè)計(jì), 使得不同材料之間的交叉污染降到最低.

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上海伯東 : 羅先生                               臺(tái)灣伯東 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322                 T: +886-3-567-9508 ext 161
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