產(chǎn)品簡(jiǎn)介
Stage-Base 450 主動(dòng)振動(dòng)及運(yùn)動(dòng)隔離系統(tǒng)特點(diǎn)：1、采用獨(dú)特的STACIS技術(shù)2、采用可擴(kuò)展的壓電陶瓷致動(dòng)器3、負(fù)載的位置可重復(fù)性在微米范圍內(nèi)4、可安裝的框架設(shè)計(jì)5、6自由度6、可選的音圈電機(jī)前饋或反饋7、主動(dòng)隔振從0.6赫茲開始8、快速的調(diào)節(jié)時(shí)間來響應(yīng)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)9、沒有氣浮支撐10、通過USB2.0與電腦的圖形用戶界面GUI連接的高
公司簡(jiǎn)介
森泉光電是專業(yè)從事光電相關(guān)領(lǐng)域儀器設(shè)備代理與系統(tǒng)集成業(yè)務(wù)的綜合性服務(wù)商，專注于光電產(chǎn)品及輔助設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、代理與銷售。業(yè)務(wù)范圍涵蓋國(guó)內(nèi)各大高校、科研院所及眾多zhi 名企業(yè)，深受廣大用戶歡迎。
公司代理和經(jīng)銷的產(chǎn)品種類十分豐富，涉及到激光、光學(xué)、光電子、光通訊、微機(jī)電、自動(dòng)化、物理、化學(xué)、電子、生物、農(nóng)業(yè)等等領(lǐng)域。可為科研及企業(yè)用戶提供光學(xué)實(shí)驗(yàn)及檢測(cè)的全套解決方案，并提供全面的售前、售中、售后支持與服務(wù)。
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產(chǎn)品說明
Active Vibration and Motion Cancellation
for Increased Throughput
Stage-base 450 主動(dòng)振動(dòng)及運(yùn)動(dòng)隔離系統(tǒng)
為了滿足放置在振動(dòng)隔離系統(tǒng)上的半導(dǎo)體設(shè)備的具挑戰(zhàn)的要求，TMC繼續(xù)推進(jìn)技術(shù)進(jìn)步來開發(fā)新的解決方案。 Stage-base 450 主動(dòng)振動(dòng)及運(yùn)動(dòng)隔離系統(tǒng)是專門設(shè)計(jì)用于具有電動(dòng)x-y平臺(tái)的半導(dǎo)體工具的主要振動(dòng)隔離系統(tǒng)。這種儀器需要非常的振動(dòng)隔離，同樣他們也要求通過快速設(shè)置移動(dòng)平臺(tái)來減小負(fù)載從而大的提高工具產(chǎn)量。由于用于快速設(shè)置調(diào)節(jié)時(shí)間來進(jìn)一步增加生產(chǎn)量的前饋控制音圈電機(jī)的加入，使其成為用于運(yùn)動(dòng)平臺(tái)應(yīng)用的的主動(dòng)振動(dòng)和運(yùn)動(dòng)隔離系統(tǒng)。
Stage-base 450 主動(dòng)振動(dòng)及運(yùn)動(dòng)隔離系統(tǒng)
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