Quanta? 250 FEG
真正的高分辨、多用途掃描電鏡
  研究各種各樣的材料，并進(jìn)行結(jié)構(gòu)和成份表征，是目前對掃描電鏡的主流應(yīng)用要求。 FEI Quanta? FEG系列靈活、通用，足以應(yīng)對當(dāng)今人們廣博的研究方向這一挑戰(zhàn)。“分析任何樣品，得到所有數(shù)據(jù)”，在Quanta FEG上可得到表面像和成份像，并可輔以多種附件來確定材料的性質(zhì)和元素組成。
    當(dāng)今人們利用掃描電鏡研究的材料早已超出單純的金屬和經(jīng)導(dǎo)電處理過的樣品。 Quanta 50 FEG系列對任何樣品都可得到高質(zhì)量的圖像和分析結(jié)果。無論是對現(xiàn)今的或是將來的應(yīng)用領(lǐng)域， FEI的Quanta 50FEG系列都是一個(gè)高端的、靈活的解決方案。其特點(diǎn)是，具有高真空、低真空和ESEM環(huán)境真空三種真空模式，適合分析廣泛的樣品范圍，從傳統(tǒng)的金屬材料、斷口和拋光斷面，到不導(dǎo)電的軟物質(zhì)。
    Quanta 50 FEG系列是基于前兩代成功的肖特基場發(fā)射環(huán)境掃描技術(shù)開發(fā)的第三代Quanta系列產(chǎn)品。這一系列產(chǎn)品用戶界面使用起來十分方便、靈活，有多種功能zui大程度地發(fā)揮其使用效率，并且允許采集所有需要的數(shù)據(jù)。它是電鏡設(shè)計(jì)來給電鏡使用的儀器，性能遠(yuǎn)不止“簡便易用”。這些功能有：特有的圖像導(dǎo)航功能包括蒙太奇圖像導(dǎo)航、鼠標(biāo)雙擊樣品臺移動、鼠標(biāo)拖曳放大居中功能以及其它標(biāo)準(zhǔn)的特色技術(shù)； SmartSCAN?，一種智能掃描技術(shù)，能降低信號噪音，提供更好的數(shù)據(jù)；電子束減速模式，一個(gè)新的選項(xiàng)，將鎢燈絲掃描電鏡的低加速電壓性能提高到一個(gè)全新的水平； Nav-Cam?彩色圖像導(dǎo)航器及新開發(fā)的探測器也大大增加了其靈

主要優(yōu)點(diǎn)
? 上具有環(huán)境掃描技術(shù)的高分辨場發(fā)射掃描電鏡
? 在各種操作模式下分析導(dǎo)電和不導(dǎo)電樣品，得到二次電子像和背散射電子像
? zui大程度降低樣品制備要求:低真空/環(huán)境真空技術(shù)使得不導(dǎo)電樣品和/或含水樣品不經(jīng)導(dǎo)電處理即可直接成像和分析，樣品表面無電荷累積現(xiàn)象
? 的“穿過透鏡”的壓差真空系統(tǒng)，對導(dǎo)電和不導(dǎo)電樣品都可進(jìn)行EDS/EBSD分析，不管是在高真空模式或在低真空模式。穩(wěn)定的大束流(zui大 200 nA)確保能譜及EBSD分析工作的快速、準(zhǔn)確
? 電鏡可作為一個(gè)微觀實(shí)驗(yàn)室。安裝特殊的原位樣品臺后，在從- 165 °C到1500 °C溫度范圍內(nèi)，對多種樣品保持其原始狀態(tài)下進(jìn)行動態(tài)原位分析
? 對導(dǎo)電樣品，可選用減速模式得到表面和成份信息
? 直觀、簡便易用的軟件，即使電鏡新手也能

典型應(yīng)用:
納米表征
? 金屬及合金, 氧化/腐蝕, 斷口, 焊點(diǎn), 拋光斷面, 磁性及超導(dǎo)材料
? 陶瓷, 復(fù)合材料, 塑料
? 薄膜/涂層地質(zhì)樣品斷面, 礦物
? 軟物質(zhì): 聚合物, 藥品, 過濾膜, 凝膠, 生物組織, 木材
? 顆粒, 多孔材料, 纖維
原位過程分析
? 增濕/去濕
? 浸潤行為/接觸角分析
? 氧化/腐蝕
? 拉伸 (伴隨加熱或冷卻)
? 結(jié)晶/相變
納米原型制備
? 電子束曝光 (EBL)
? 電子束誘導(dǎo)沉積(EBID)
主要參數(shù)
電子光學(xué)
? 高分辨肖特基場發(fā)射電子槍
? 優(yōu)化的高亮度、大束流鏡筒
? 45°錐度物鏡靴，及“穿過透鏡”的壓差真空系統(tǒng)，加熱式
物鏡光闌
? 加速電壓: 200 V - 30 kV
? 束流: zui大200 nA并連續(xù)可調(diào)
? 放大倍數(shù): 14 x – 1,000,000 x (四幅圖像顯示)
分辨率
? 高真空
– 30 kV下0.8 nm (STEM)*
– 30 kV下1.0 nm (SE)
– 30 kV下2.5 nm (BSE)*
– 1 kV下3.0 nm (SE)
? 高真空下減速模式*
– 1 kV下3.0 nm (BSE)*
– 1 kV下2.3 nm (ICD)*
– 200 V下3.1 nm (ICD)*
? 低真空
– 30 kV下1.4 nm (SE)
– 30 kV下 2.5 nm (BSE)
– 3 kV下3.0 nm (SE)
? 環(huán)境真空 (ESEM)
– 30 kV下1.4 nm (SE)

檢測器
? E-T二次電子探頭
? 大視場低真空氣體二次電子探頭 (LFD)
? 氣體二次電子探頭 (GSED)
? 樣品室紅外CCD相機(jī)
? 高靈敏度、低電壓固體背散射探頭*
? 氣體背散射探頭*
? 四分固體背散射探頭*
? 閃爍體型背散射探頭/CLD*
? vCD (低電壓、高襯度探頭)*
? 鏡筒內(nèi)探頭(ICD)，用于減速模式下二次電子檢測*
? 電子束流檢測器*
? 分析型氣體背散射探頭 (GAD)*
? STEM探頭*
? Nav-Cam?– 光學(xué)相機(jī)彩色成像，用于樣品導(dǎo)航*
? 陰熒光探測器*
? 能譜*
? 波譜*
? EBSD*
真空系統(tǒng)
? 1個(gè) 250 l/s 渦輪分子泵, 2個(gè)機(jī)械泵
? 的“穿過透鏡”的壓差真空系統(tǒng)
? 電子束在氣體區(qū)域的行程： 10 mm或2 mm
? 可升級成無油機(jī)械泵
? 2個(gè)離子泵
? 樣品室真空度 (高真空模式) < 6e-4 Pa
? 樣品室真空度(低真空模式) < 10 to 130 Pa
? 樣品室真空度(環(huán)境真空模式) < 10 to 4000 Pa
? 典型換樣時(shí)間: 高真空模式≤ 150秒；低真空及環(huán)境真空模式≤ 270秒 (FEI標(biāo)準(zhǔn)測試程序)
樣品室
? 左右內(nèi)徑284 mm
? 10 mm分析工作距離
? 8個(gè)探測器 / 附件接口
? EDS采集角: 35°
樣品臺
? X/Y = 50 mm
? Z = 50 mm (其中馬達(dá)驅(qū)動25 mm)
? 手動傾斜： - 15° to + 75°
? 連續(xù)旋轉(zhuǎn)360°
? 重復(fù)精度: 2 μm (X/Y方向)
?

樣品座
? 多樣品座
? 單樣品座
? 通用樣品座套件*
? 適用于硅片或其它特殊要求的樣品座*
圖像處理器
? zui大6144 x 4096像素
? 圖像文件格式： TIFF(8,16 or 24 bit), BMP or JPEG
? 單窗口或四窗口圖像顯示
? 四活動窗口
? 實(shí)時(shí)或靜態(tài)按彩色或按灰度等級信號混合
? 256 幀平均或積分
? 數(shù)字動畫記錄 (.avi格式)
? 直方圖及圖像測量軟件
支持軟件
? SmartSCAN? 智能掃描技術(shù)
? 蒙太奇圖像導(dǎo)航
? 軟件溫度控制
? FEI動畫生成工具
系統(tǒng)選項(xiàng)
? 減速模式
? 多功能控制板
? 支持計(jì)算機(jī) (包括第二個(gè)24寸液晶顯示器)
? 軟件控制的Peltier冷臺
? 軟件控制的WetTSTEM?
? 軟件控制的1000 °C熱臺
? 軟件控制的1500 °C熱臺
? 游戲操縱桿
? 樣品電流探測
? 遠(yuǎn)程控制
? 視頻打印機(jī)
? 樣品座套件
? 機(jī)械泵隔音罩
? 7針或52針電氣接口
? 靜電電子束束閘
? 波譜儀接口
? 更換成無油機(jī)械泵套件

通用第三方附件
? 能譜儀
? 波譜儀
? EBSD
? 冷臺
? 陰熒光譜儀
? 樣品電流探測器
? 納米機(jī)械手
? 電子束曝光系統(tǒng)
? CAD導(dǎo)航
? 電子探針臺
軟件選項(xiàng)
? 遠(yuǎn)程控制/觀察軟件
? 圖像分析軟件
? 基于Web的數(shù)據(jù)庫軟件
? 高度分布/粗糙度測量軟件
支持文檔
? 在線幫助
? 入門培訓(xùn)CD
? RAPID? (遠(yuǎn)程診斷軟件)
? 連接到FEI用戶群在線資源庫
? 加入FEI環(huán)境掃描用戶俱樂部
安裝要求
? (更多的數(shù)據(jù)請參考“預(yù)安裝手冊”)
? 電源: 電壓 230 V (+ 6 %, - 10 %),
頻率 50 or 60 Hz (+/- 1 %)
? 耗電量: 電鏡基本系統(tǒng)< 3.0 kVA
? 接地: < 0.1 Ω(歐洲標(biāo)準(zhǔn))
? 場地環(huán)境: 工作溫度 20 °C +/- 3 °C；
相對濕度 < 80 % (無冷凝)；殘余交流磁場
< 40 nT(非同步頻率，水平X/Y方向),
< 300 nT (同步頻率，水平X/Y方向)
? 門寬: 90 cm
? 重量: 主機(jī)重量約530 kg；電氣柜約139 kg
? 干燥氮?dú)?/span>(推薦使用): 0.7 - 0.8 bar,
放氣時(shí)zui大流速10 l/min
? 干燥無油壓縮空氣4 – 6 bar
? 可以不選配冷卻水機(jī)，如果滿足場地條件要求(詳見預(yù)安裝手冊)
? 噪音: < 68 dBC (需場地測試確定)
? 振動 (需場地測試確定)
? 減振臺可選
節(jié)能措施
? Energy Star認(rèn)證的顯示器和工作站
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