RTS-8型四探針測試儀

北京中時維興儀器設備經營中心

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企業(yè)認證：

價格：電議

所在地：北京

型號：RTS-8型

更新時間：2017-06-05

瀏覽次數(shù)：1469

公司地址：北京市豐臺區(qū)大紅門陽光左右間西側甲6號1027

15910585107 夏佳麗(女士)

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產品簡介

RTS-8型數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的，專用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。

公司簡介

北京中時維興儀設備經營中心隨公司成立于2016年，坐落于北京市豐臺區(qū)，專業(yè)供應及銷售儀器，儀表，電子產品，機械設備，金屬制品，家用電器，辦公用品，實驗儀器，氣體檢測，水質分析、食品安全、無損檢測以及各類實驗用儀器，客戶遍及各大領域。

公司秉承著以人為本的管理思想和精益求精的品質要求，不斷的完善自我，提高自我，勇敢地面對激烈的市場競爭，以先進的技術、嚴格的管理、過硬的質量、低廉的價格、一流的服務贏得眾多客戶的親睞。

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產品說明

RTS-8型四探針測試儀

恒流源電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔；可連接電腦使用也可以不連接電腦使用，連接電腦使用帶自動測量功能，自動選擇適合樣品測試電流量程；高速并口通訊接口，連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5秒（在0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時）；

RTS-8型數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法標準并參考美國   A.S.T.M 標準而設計的，專用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。
    儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結果。
    儀器采用了新電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結構緊湊、易操作等特點。
    本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試。

RTS-8型四探針測試儀前面板

RTS-8型四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析。
測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析

技　術　指　標：

測量范圍	電阻率：10-5～105 Ω.cm(可擴展)；方塊電阻：10-4～106 Ω/□(可擴展)；電導率：10-5～105 s/cm；電阻：10-5～105 Ω；
可測晶片直徑	140mmX150mm(配S-2A型測試臺)； 200mmX200mm(配S-2B型測試臺)； 400mmX500mm(配S-2C型測試臺)；
恒流源	電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續(xù)可調
數(shù)字電壓表	量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　分辨力：10μV；輸入阻抗：>1000MΩ；精度：±0.1% ；顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；性、超量程自動顯示；
四探針探頭基本指標	間距：1±0.01mm；針間緣電阻：≥1000MΩ；機械游移率：≤0.3%；探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；探針壓力：5～16 牛頓(總力)；
四探針探頭應用參數(shù)	(見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差 ( 按JJG508-87進行)	0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字
整機測量zui大相對誤差	(用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%
整機測量標準不確定度	≤5%
測試模式	可連接電腦測試也可不連接電腦測試
軟件功能（選配）	軟件可記錄、保存、打印每一點的測試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù)zui大值、zui小值、平均值、zui大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖，也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中，對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動測量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。
計算機通訊接口	并口，高速并行采集數(shù)據(jù)，連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5 秒（在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時）。
標準使用環(huán)境	溫度：23±2℃；相對濕度：≤65%；無高頻干擾；無強光直射；

顯微鏡和 USB 接口 CCD 攝像頭共存的監(jiān)視方式ST-102E 型探針測試臺與測試儀器配接后可選配ST-102E 型探針測試臺

可用于集成電路芯片及各種晶體管芯的電參數(shù)測試及功能調試，適用于科研、新品試制及小批量生產的中間測試。

技術指標：
工作臺面 370mm*245mm
載物臺直徑 4"
可選二種放大倍數(shù) *14-90 倍連續(xù)變倍；
*17.5-112.5 倍連續(xù)變倍；
監(jiān)視方式顯微鏡和 USB 接口 CCD 攝像頭共存的監(jiān)視方式
光學參數(shù) 手輪調焦范圍：60mm；升降調焦范圍：200mm；
旋轉臺粗調范圍：360°；微調范圍：±10°；zui小刻劃：1°；
銅盤直徑：Φ85mm；緣盤直徑：Φ102mm
三維探針座
探針座 X、Y、Z 方向調節(jié)范圍：±3.25mm，分辨率±2µ；
三維探針座在工作臺面可任意位置固定，由磁性開關控制；
多可布三維探針座 6 個；
探針臂伸出長度：60mm；探針長度：40mm；
探針探針材質硬質合金，針尖曲率半徑 2µm；標準配置：主工作臺、顯微鏡、USB 接口 CCD 攝像頭、三維微調座 2 個、探針臂 2 支、探針 2 支。
可選配件：三維微調架、探針臂、探針、真空泵。可按用戶的實際需求進行訂做。

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