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價格:電議
所在地:廣東 東莞市
型號:MicroLine 300
更新時間:2024-09-05
瀏覽次數:1435
公司地址:中國廣東,重慶,昆山,上海,深圳,香港
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張人雷(先生) 總經理

東莞市天測光學設備有限公司(TianCe Optical Equipment Co.,LTD.)是一家專業從事測量儀器銷售和服務的高新技術企業。公司坐落在中國制造業名城廣東省東莞市.公司本著“誠信、專業、務實、創新”的經營理念,堅持“以質量求生存、以信譽求發展”為企業宗旨,為客戶提供高質低價的產品和服務,獲得珠三角客戶廣泛好評。
公司專業從事美國QVI產品、OGP影像測量儀,VIEW影像測量儀(中國區總代)、法國Keron 關節臂三坐標測量儀、等著名品牌測量儀器的銷售、安裝、維修、校正、保養、升級等服務。公司擁有完善的樣品測試中心和方案評估實驗室,可為客戶提供完善的測量解決方案,公司附設200平米的機器展示中心,可為企業,學校及研究機構提供三維尺寸測量,三維激光掃描,測量儀應用培訓等服務。

MicroLine-300是一款桌上型半自動CD測量系統。
主要技術參數:
◆ 測量范圍(XYZ):標準:200×200×25mm;可選:30030025
◆ 視場內測量精度:10nm(100 鏡頭);Z軸聚焦范圍:25 mm
◆ 視場內測量范圍:0.5um~400um;
◆ 視場內測量重復性(100 物鏡): 晶圓上<0.010um(1δ);
掩模板上0.005um(1δ);
◆ zui大承重:2kg
◆ 標配鏡頭10,可選鏡頭:5X, 20, 50, 100
MicroLine 300 is a table type semi-automatic CD measurement system .
The main technical parameters :
◆ X,Y,Z Measuring Range (mm): standard :20020025 optio
◆ The field measurement accuracy :10nm (100 lens ) Z Foucsing Range (mm) : 25
◆ The field measurement range :0.5um~400um;
◆ The field measurement repeatability (100 lens):on wafer < 0 0.010m(1δ);
on mask plate 0.005um(1δ);
◆ Max Recommanded Load : 2kg
◆ Lens : standard :10
optio
MicroLine 系列 主要用于測量半導體、MEMS 晶圓、光刻掩模板等尺寸和涂覆物(多層套刻、圓、對接誤差等)量測。
MicroLine 臨界尺寸測量系統設計應用于半導體和MEMS晶圓以及光掩模CD量測。Microline 系列可自動測量線寬,迭置重合,和其他關鍵尺寸。
MicroLine 裝備有高性能光學顯微鏡,運動平臺,可測量0.5 微米到400 微米大小的產品,測量精度和重復性在10nm (1 σ ,100倍物鏡)。







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