產(chǎn)品簡介
甩膠機(jī)(英文名：Spin Coater)適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜 詳細(xì)介紹：甩膠機(jī)(英文名：Spin Coater& Spin Processor) 行業(yè)俗稱：勻膠臺、勻膠機(jī)、旋涂儀、涂膠機(jī)、鍍膜機(jī)、涂層機(jī)型號WS-650Mz-23NPPB 高精度勻膠機(jī)
公司簡介
全球工業(yè)和實驗室設(shè)備供應(yīng)集團(tuán)：
邁可諾公司全稱“邁可諾技術(shù)有限公司”，英文簡稱“MYCRO”。這是一家富有創(chuàng)新精神的化高科技公司，專業(yè)提供光電半導(dǎo)體化工實驗室所需設(shè)備耗材的全套解決方案提供商，公司網(wǎng)址為 。
作為工業(yè)實驗室市場領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)企業(yè)，邁可諾從事開發(fā)、設(shè)計、生產(chǎn)并營銷質(zhì)量可靠的、安全易用的技術(shù)產(chǎn)品及優(yōu)質(zhì)專業(yè)的服務(wù)，幫助全球客戶和合作伙伴取得成功。
邁可諾成功的基礎(chǔ)是幫助客戶做出好的選擇和決定，尊重他們的決定，并協(xié)助他們實現(xiàn)高效率的科研成果，追求豐富有意義的生活。
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產(chǎn)品說明
1、產(chǎn)品概述：
650S型高精度勻膠機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體、化工材料、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。美國Laurell高精度勻膠機(jī)具有穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動，可以保證半導(dǎo)體中膠厚度的一致性和均勻性，這正是650S 型甩膠機(jī)的特點。
2、甩膠機(jī)工作原理：
甩膠機(jī)（spin coater）的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，甩膠機(jī)常用于各種溶膠凝膠（Sol-Gel）實驗中的薄膜制作，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。
三、勻膠機(jī)性能指標(biāo)及特點：
1、該高精度勻膠機(jī)采用美國技術(shù)：
2、Laurell甩膠機(jī)采用NPP天然聚丙烯材質(zhì)構(gòu)造設(shè)計，這種材質(zhì)有很好的抗腐蝕性和抗化學(xué)物性,美觀大方；
3、甩膠機(jī)真空Chuck經(jīng)加工制成，具有良好的光潔度及平整度，保證晶圓片被很好地吸附，主軸采用進(jìn)口微型單列向心球軸承支撐，軸向有彈性墊及調(diào)整墊，可保障主軸具有較高的精度。
4、智能型調(diào)節(jié)勻膠工作時間，1秒至99分59.9秒任意范圍，zui小時間增加精度0.1秒；
5、650S 型甩膠機(jī)大致有兩個轉(zhuǎn)速范圍，主軸轉(zhuǎn)速范圍寬，加速度高。一階段，通過500~1000RPM的轉(zhuǎn)速，旋轉(zhuǎn)5~10秒鐘，使膠液得以平鋪開，而膠液厚度主要通過第二階段的速度變化來控制，一般轉(zhuǎn)速在1500RPM~6000RPM，旋轉(zhuǎn)時長從幾秒鐘到幾分鐘，如此既可以得到幾百個納米到數(shù)十個微米之間的均勻薄膜，也是可以無變速的。根據(jù)旋涂的需要設(shè)定不同的轉(zhuǎn)速，對不同的材料進(jìn)行均勻的涂膜。
6、數(shù)碼控制器，美國Laurell甩膠機(jī)的數(shù)碼速度控制器采用的是一個高計數(shù)位的光學(xué)編碼器輸入至伺服馬達(dá)控制器，其設(shè)置點精度小于0.006%。通過PLC控制系統(tǒng)，運行干擾小，可靠性高。人機(jī)交互按鍵顯示操作，界面友好，更直觀便捷，用戶可靈活編制、儲存、調(diào)用和修改工藝參數(shù)。甩膠機(jī)可以設(shè)定多達(dá)20個程序段來存儲不同材料的制備過程，每個程序段都能設(shè)定51步速度改變，當(dāng)前參數(shù)具斷電保護(hù)功能。650S系列，除了對于轉(zhuǎn)速的控制以外（轉(zhuǎn)速范圍1~12000轉(zhuǎn)/分，分辨率小于0.5轉(zhuǎn)/分，可重復(fù)性小于±0.5轉(zhuǎn)/分，加速度可達(dá)80000RPM/S，zui低則可達(dá)1RPM/S）。MSC-650S型可以通過USB通訊接口連接電腦，以及隨機(jī)附帶的SPIN3000分析軟件進(jìn)行功能多樣的可視化操作。對于每次實驗結(jié)果進(jìn)行分析調(diào)試，并挑選出的制備過程，所有數(shù)據(jù)結(jié)果都可以通過電腦輸出并予以保存，完成從單純旋轉(zhuǎn)機(jī)器到旋涂儀器的升級。
7、甩膠機(jī)加速度和速度的穩(wěn)定性：標(biāo)準(zhǔn)速度范圍100-12,000 轉(zhuǎn)/分鐘（RPM）[分辨率：<0.5 轉(zhuǎn)/分鐘（RPM）可重復(fù)性：±0.5 轉(zhuǎn)/分鐘，經(jīng)美國標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院（NIST）認(rèn)證過的，并且無需再校準(zhǔn)！]
8、在安裝結(jié)構(gòu)上，采取了減振措施，保證了在運轉(zhuǎn)時噪音很低，保證涂覆表面均勻，保證通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)涂覆厚度。
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