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價格:電議
所在地:江蘇 無錫市
型號:SST
更新時間:2017-01-09
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公司地址:無錫市新區菱湖大道200號
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胥樹斌(先生)
ABLS系列運動平臺主要構成部分,包括底座、導軌、氣浮滑塊和頂板等,采用直線電機驅動。定位平臺的懸浮工作原理是在供氣孔道中通入一定氣壓的壓縮空氣,氣體經過節流孔在氣浮滑塊與導軌、底座的相對面中形成 10μm 左右的氣膜并產生一定的懸浮力,氣膜支撐氣浮滑塊與頂板組成的滑臺作一維直線運動,當懸浮力與實驗平臺重量平衡時,這個運動平臺處于穩定懸浮狀態。當作為系統負載的氣浮滑塊發生變化或者有外界干擾時,系統本身通過改變氣浮滑塊與導軌之間的縫隙量改變懸浮力達到重新平衡;具有一定的調節能力,氣膜支撐氣浮滑塊與頂板組成的滑臺作一維直線運動。
滑臺由氣浮導軌和頂板組成,是作為定位的部件,承載需要作定位的零件或工具,并且光柵尺的讀頭也安裝在頂板的側面,通過利用三維建模軟件Pro/E的參數化造型方法構造零件的三維模型,通過對三維零部件結構特征的修改,使機構的空間布局合理,以滿足裝配、制造等方面的要求。然后對平臺進行靜力學和動力學分析,以尋求設計參數的組合,進行有限元的模態分析,校核其動態剛度,并分析相關參數對結構剛度的影響,終使超氣浮定位平臺滿足動態剛度的要求。通過仿真分析和實驗驗證的方法研究小孔節流式靜壓空氣軸承的幾何參數對軸承性能的影響,得出軸承具有較高的承載能力、剛度和較小氣體流量時各幾何參數的合理比例,同時給出軸承設計和預測軸承內是否會出現超音速氣流的簡便方法。
氣浮導軌是以氣體為潤滑劑支撐的導軌,具有高承載力、高剛度、高速度、、無摩擦、無污染等優點,在機械中得到廣泛的應用。氣浮導軌作為氣浮平臺系統關鍵部件,其承載能力、剛度、穩定性與導軌結構,如節流孔直徑、節流器分布、氣膜厚度等密切相關。
ABLS系列運動平臺采用U型槽式直線電機驅動,這種電機結構簡單,定位精度高,反應速度快、靈敏度高,隨動性好,可以實現無接觸傳遞力,機械摩擦損耗幾乎為零,所以故障少,免維修,因而工作安全可靠、壽命長,結合高分辨率海德漢光柵尺以及PID閉環智能控制技術,ABLS系列運動平臺zui大加速度可以達到2G,zui大速度2M/s,zui0.3uM。
ABLS系列運動平臺為微光刻技術、數控加工、生物技術、IC 封裝設備、納米表面形貌測量等領域提供一個能夠實現定位和運動的載物平臺,在的電子制造設備比如光刻機貼片機等,高性能的運動平臺是其工作的主要機構。此外,在還可作為微型機電系統的制造和檢測、光學測量加工領域、超機械加工、航空發動機測量制造等定位的理想選擇。
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