產品簡介
美國QVI，好的光學影像測量儀 Precis 200是基于Micro-Metric的Innova晶圓量測系統開某發而來，采用了VMM 公司的設計和好技術。, 新款Precis 包含了很多可配置選項，使設備更加通用，耐某用以及可某靠。
公司簡介
東莞市天測光學設備有限公司（TianCe Optical Equipment Co.,LTD.）是一家專業從事測量儀器銷售和服務的高新技術企業。公司坐落在中國制造業名城廣東省東莞市.公司本著“誠信、專業、務實、創新”的經營理念，堅持“以質量求生存、以信譽求發展”為企業宗旨,為客戶提供高質低價的產品和服務,獲得珠三角客戶廣泛好評。
公司專業從事美國QVI產品、OGP影像測量儀，VIEW影像測量儀（中國區總代）、法國Keron 關節臂三坐標測量儀、等著名品牌測量儀器的銷售、安裝、維修、校正、保養、升級等服務。公司擁有完善的樣品測試中心和方案評估實驗室,可為客戶提供完善的測量解決方案,公司附設200平米的機器展示中心,可為企業，學校及研究機構提供三維尺寸測量，三維激光掃描，測量儀應用培訓等服務。
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產品說明
美國QVI，好的光學影像測量儀 Precis 200
新的Precis® 200是基于Micro-Metric的Innova晶圓量測系統開發而來，采用了VMM 公司的設計和技某術。
, 新款Precis 包含了很多可配置選項，使設備更加通用，耐某用以及可某靠。
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擴展了Z軸范圍 – 2.5mm, 5mm or 100mm
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透射照明
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完整電子繪圖 – 完全符合 SEMI S2 和 CE 標準
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符合人某體工程學的操作員控制臺 ，帶有隱藏鍵盤托盤, 可調節高度和角度的控制面板和顯示器, SEMI S8 符合
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全自動顯微鏡，所有設置計算機控制
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分辨率像素攝像頭
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VIEW Metrology Software (VMS?) 可測組件很廣某泛, 可選CAD導入 以及完整的幾何尺寸和公差導入。
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MMWin – 晶圓片 和Mask計量軟件 –晶圓片的重要尺寸和迭置重合測量, 滑塊 ABS,光掩模和平板顯示器.
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標準 可選
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X,Y,Z行程(mm): 200 x 200 x 5 200 x 200 x 100
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zui大載重: 12 kg
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XY精度: E1=(0.25+2L/1000)um
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Z 精度: E1=(0.25)um (with use of a 100 lens)
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分辨率： 0.01 微米
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視場測量精度和重復性：0.01 μm (100)
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直流伺服馬達驅動
The all-new Precis® 200 incorporates the most advanced design and technology from VIEW-MM. based on the proven Innova wafer metrology system from Micro-Metric, the new Precis includes a number of configurable options that make the system more versatile, serviceable and reliable:
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Extended Z-axis range – 2.5mm, 5mm or 100mm
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Transmitted illumination
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Integral electronics drawer – fully compliant with SEMI S2 and CE standards
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Ergonomic operator control station with hide-away keyboard tray, adjustable height and angle for control panel and display monitor, SEMI S8 compliant
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Fully automated microscope with all settings computer controlled
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Megapixel camera for optimum resolution
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VIEW Metrology Software (VMS?) allows a wide range of components to be measured, with the option of CAD translation and full geometric dimensioning and tolerancing.
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MMWin – wafer and mask metrology software – ideal for critical dimension and overlay registration measurement for wafers, slider ABS, photomask and flat panel displays.
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Standard Optional
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X,Y,Z travel (mm): 200 x 200 x 5 200 x 200 x 100
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Max Recommanded load: 12 kg
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XY Linear Accuracy: E1=(0.25+2L/1000)um
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Z Linear Accuracy: E1=(0.25)um (with use of a 100 lens)
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Resolution： 0.01 μm
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Field of measurement accuracy and repeatability ：0.01 μm (100)
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Dc servo motor drive
Precis 主要用于以下應用：
- 亞微米測量：
◆ 微器件和電子元器件封裝、引線框
◆ 微型球狀引腳柵格陣列封裝
◆ 硬盤驅動臂、探針卡、刀片
- CD 和套刻測量：
◆ 線寬、涂覆層
◆ MEMS 器件、接觸窗、噴墨打印頭
◆ 硬盤驅動頭、磁頭等
美國QVI，好的光學影像測量儀 Precis 200
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