因此,常用的測(cè)量電路主要有橋式電路、調(diào)頻電路、脈沖寬度 制電路、運(yùn)算放大器電路、二管雙 T 形交流電橋和環(huán)行二管充放電法等。 調(diào)頻電路實(shí)際是把電容式傳感器作為振蕩器諧振回路的一部分,當(dāng)輸入量導(dǎo)致電容量發(fā)生變化時(shí),振蕩器的振蕩頻率就發(fā)生變化。雖然可將頻率作為測(cè)量系統(tǒng)的輸出量,用以判斷被測(cè)非電量的大小,但此時(shí)系統(tǒng)是非線性的,不易校正,因此必須加入鑒頻器,將頻率的變化轉(zhuǎn)換為電壓振幅的變化,經(jīng)過(guò)放大就可以用儀器指示或記錄儀記錄下來(lái)。
調(diào)頻電容傳感器測(cè)量電路具有較高的靈敏度,可以測(cè)量高至 0.01 μm 級(jí)位移變化量。信號(hào)的輸出頻率易于用數(shù)字儀器測(cè)量,并與計(jì)算機(jī)通信,抗干擾能力強(qiáng),可以發(fā)送、接收以達(dá)到遙測(cè)遙控的目的。
因此,在實(shí)際應(yīng)用中,常采用差動(dòng)式結(jié)構(gòu),既使靈敏度提高 1 倍,又使非線性誤差大大降低,抗干擾能力增強(qiáng)。
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BI2U-EH65-AN6X
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