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價格:電議
所在地:北京
型號:XPL101A-3
手機:15010245973
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更新時間:2023-10-25
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公司地址:北京市海淀區
電熱鼓風干燥箱,根據《干燥箱術條件》標準生產,廣泛適用于廠或實驗室中的般性烘焙、干燥、熱處理及其它加熱之用。 |
四探針電阻率/方阻測試儀(以下簡稱電阻率測試儀)是用來測量半導體材料(主要是硅單晶、鍺單晶、硅片)電阻率,以及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量份(簡稱:主機)、測試架及四探針頭組成。
本儀器的特點是主機配置雙數字表,在測量電阻率的同時,另塊數字表(以分之幾的度)適時監測程的電流變化,免除了測量電流/測量電阻率的轉換,及時掌控測量電流。主機還提供度為0.05%的恒流源,使測量電流度穩定。本機配有恒流源開關,在測量某些箔層材料時,可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發生,好地保護箔膜。儀器配置了本公司的產品:“小游移四探針頭”,探針游移率在0.1~0.2%。了儀器測量電阻率的重復性和度。本機如加配HQ-710E數據處理器,測量硅片時可自動行厚度、直徑、探針間距的修正,并計算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的zui大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均習庋。給測量帶來很大方便。
2、主機術能數
(1)測量范圍:
可測電阻率:0.0001~19000Ω•cm
可測方塊電阻:0.001~1900Ω•□
(2)恒流源:
輸出電流:DC 0.001~100mA 五檔連續可調
量程:0.001~0.01mA
0.01~0.10mA
0.10~1.0mA
1.0~10mA
10~100mA
恒流度:各檔均低于±0.05%
(3)直流數字電壓表:
測量范圍:0~199.99mV
靈敏度:10μV
基本誤差:±(0.004%讀數+0.01%滿度)
輸出電源:≥1000ΩM
(4)供電電源:
AC 220V±10% 50/60 Hz 率:12W
(5)使用環境:
溫度:23±2℃ 相對濕度:≤65%
無較強的電場干擾,無強光直接照射
(6)重量、體積:
主機重量:7.5kg
體積:365×380×160(單位:mm 長度×寬度×度)
備注:
等測量時(測電阻率),度<3%
電氣測量時(測電阻),度在0.3%以內
備注:
儀器包括:主機臺;測試架(包括臺面)個;四探針頭1個;軟件
GSZ-RTS-4型數字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法標準并參考美 A.S.T.M 標準而設計的,專用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。
儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等分組成,測量數據既可由主機直接顯示,亦可由計算機控制測試采集測試數據到計算機中加以分析,然后以表格,圖形方式統計分析顯示測試結果。
儀器采用了新電子術行設計、裝配。具有能選擇直觀、測量取數快、度、測量范圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。
本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、等院校對半導體材料的電阻性能測試。
GSZ-RTS-4型四探針軟件測試系統是個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序,通過此測試程序輔助使用戶簡便地行各項測試及獲得測試數據并對測試數據行統計分析。
測試程序控制四探針測試儀行測量并采集測試數據,把采集到的數據在計算機中加以分析,然后把測試數據以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數據在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數據輸出到Excel中,讓用戶對數據行各種數據分析
術參數:
測量范圍 | 電阻率:0.001~200Ω.cm(可擴展); 方塊電阻:0.01~2000Ω/□(可擴展); 電導率:0.005~1000 s/cm; 電阻:0.001~200Ω.cm; |
可測晶片直徑 | 140mmX150mm(配S-2A型測試臺); 200mmX200mm(配S-2B型測試臺); 400mmX500mm(配S-2C型測試臺); |
恒流源 | 電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔,各檔電流連續可調 |
數字電壓表 | 量程及表示形式:000.00~199.99mV; 分辨力:10μV; 輸入阻抗:>1000MΩ; 度:±0.1% ; 顯示:四位半紅色發光管數字顯示;性、超量程自動顯示; |
四探針探頭基本標 | 間距:1±0.01mm; 針間緣電阻:≥1000MΩ; 機械游移率:≤0.3%; 探針:碳化鎢或速鋼Ф0.5mm; 探針壓力:5~16 牛頓(總力); |
四探針探頭應用參數 | (見探頭附帶的合格證) |
模擬電阻測量相對誤差 ( 按JJG508-87行) | 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 |
整機測量zui大相對誤差 | (用硅標樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±5% |
整機測量標準不確定度 | ≤5% |
計算機通訊接口 | 并口 |
標準使用環境 | 溫度:23±2℃; 相對濕度:≤65%; 無頻干擾; 無強光直射; |
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