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價(jià)格:電議
所在地:全國(guó)
型號(hào):
更新時(shí)間:2011-12-02
瀏覽次數(shù):2216
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(女士)
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| ·I100-,200-,和300-amu系統(tǒng)帶法拉第杯或電子倍增器/法拉第杯的組合。 |
| ·改進(jìn)的氫檢測(cè)。 |
| ·與原始的Transpector相比訊噪比提高10倍 |
| ·快速掃描低值訊號(hào) |
| ·個(gè)量級(jí)的電子學(xué)動(dòng)態(tài)量程 |
| ·用于單傳感器和多傳感器系統(tǒng)的軟件選件 |
| ·分壓測(cè)量從1×10-4乇至2×10-14乇 |
| Transpector 2 是基于四極場(chǎng)的智能傳感器,全部傳感器電子驅(qū)動(dòng)加上微處理器安裝在一個(gè)附在傳感器上的小型、輕便的密閉匣內(nèi)。由于它是智能的傳感器,具有相當(dāng)?shù)撵`活性,您可以使用當(dāng)前的計(jì)算機(jī)或從INFICON選購(gòu)PC和軟件包。兩種通訊鏈接,RS232用于單傳感器,RS485用于多傳感器配置,將Transpector2 連接控制計(jì)算機(jī)。簡(jiǎn)單的指令協(xié)議支配全部Transpector功能。 |
RGA 應(yīng)用(主要用途)
* 檢漏
* 真空設(shè)備本底狀況鑒定
* 在線工藝氣體監(jiān)測(cè)分析
* 檢漏
- 真空系統(tǒng)泄漏(內(nèi)漏,外漏)
- 可設(shè)置報(bào)警點(diǎn),實(shí)現(xiàn)報(bào)警功能
- 與氦質(zhì)譜檢漏儀的區(qū)別:
| | RGA | 氦質(zhì)譜檢漏儀 |
| 示漏氣體 | 氦氣或其他任何示漏氣體 | 氦氣 |
| 可檢漏類(lèi)型 | 內(nèi)漏,外漏 | 外漏 |
| 顯示 | TWare32軟件檢漏模式/監(jiān)控模式 (離子流/分壓強(qiáng)) | 顯示面板(漏率) |
* 真空系統(tǒng)本底狀態(tài)鑒定
在系統(tǒng)達(dá)到極限真空時(shí)測(cè)定殘余氣體的種類(lèi)和量值
* 真空系統(tǒng)污染監(jiān)測(cè)和控制
清洗介質(zhì)殘留,返油(碳?xì)浠衔?,表面放氣(空氣, H2O, O2, CO, CO2)
通過(guò)軟件中的標(biāo)準(zhǔn)氣體庫(kù),可確定氣體成分.
* 真空工藝監(jiān)控
- 在線監(jiān)控:實(shí)時(shí)反映工藝異常或偏差
- 數(shù)據(jù)按時(shí)間自動(dòng)存儲(chǔ)(SOD文件)以便
日后追溯進(jìn)行工藝分析
- 繼電器輸出可用于控制閥門(mén)
- 模擬輸出可連線PLC
* 鍍膜工藝研究開(kāi)發(fā)
各種工藝氣體的相對(duì)比例對(duì)工藝/產(chǎn)品的影響
RGA的選用 - 為您的鍍膜機(jī)選擇合適的RGA
* zui小可檢分壓強(qiáng)(MDPP)
法拉第杯(FC): 3 x 10-13 Torr
電子倍增器(EM)+法拉第杯(FC):10-14~10-15 Torr
* 質(zhì)量數(shù)(AMU)
取決于需要探測(cè)的氣體
100AMU傳感器 探測(cè)范圍: 1-100AMU
200AMU傳感器 探測(cè)范圍: 1-200AMU
300AMU傳感器 探測(cè)范圍: 1-300AMU
絕大多數(shù)工業(yè)應(yīng)用僅需100AMU傳感器
* 工作壓強(qiáng)范圍
- 標(biāo)準(zhǔn)RGA: < 5 x 10-4 Torr
- 高壓強(qiáng)型XPR3: < 1 x 10-2 Torr
- 若需在更高壓強(qiáng)下工作, 須使用取樣系統(tǒng)(IPC400)


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