產(chǎn)品簡(jiǎn)介
膜厚測(cè)量?jī)x 產(chǎn) 品 說(shuō) 明薄膜測(cè)量薄膜厚度新澤西Salt Point公司開(kāi)發(fā)的薄膜監(jiān)測(cè)系統(tǒng)(TDS)，在寬帶溶解率監(jiān)測(cè)儀(DRM)中集成了一套海洋
產(chǎn)品說(shuō)明
膜厚測(cè)量?jī)x
產(chǎn) 品 說(shuō) 明
薄膜測(cè)量
薄膜厚度
新澤西Salt Point公司開(kāi)發(fā)的薄膜監(jiān)測(cè)系統(tǒng)(TDS)，在寬帶溶解率監(jiān)測(cè)儀(DRM)中集成了一套海洋光學(xué)多通道光譜儀，用來(lái)分析半導(dǎo)體和光學(xué)工業(yè)中使用的超薄的抗蝕膜。
DRM幫助客戶確定膜層的厚度以及應(yīng)用抗蝕膜后的材料溶解速率這都是控制薄膜生產(chǎn)工藝的重要參數(shù)。在初始化測(cè)試中，薄膜監(jiān)測(cè)解決方案主要針對(duì)膜厚<300nm的應(yīng)用，相對(duì)而言，傳統(tǒng)的單色和多色干涉測(cè)量方法在該測(cè)量應(yīng)用中的效果較差。在測(cè)試中，TDS采用了一個(gè)SD2000雙通道光譜儀，通過(guò)一個(gè)R系列反射探頭來(lái)實(shí)現(xiàn)反射式測(cè)量。
TDS在其網(wǎng)站上的報(bào)告中的結(jié)果顯示了多波長(zhǎng)DRM系統(tǒng)能夠在離散的時(shí)間間隔內(nèi)測(cè)定薄膜厚度，傳統(tǒng)的DRM系統(tǒng)要監(jiān)測(cè)光阻材料比較困難，并且，通過(guò)免去了對(duì)離散的靜態(tài)的光學(xué)厚度測(cè)量工具的需求，也給研究者提供了相應(yīng)附加值。
目前，TDS提供了1-, 2-, 4- 和8-通道的配置。TDS近正好發(fā)布了它的L系列DRM產(chǎn)品線，新產(chǎn)品可以用于光阻材料的研發(fā)，配方研究，光阻材料生產(chǎn)的質(zhì)量控制，以及聚合樹(shù)脂生產(chǎn)的質(zhì)量控制。L系列產(chǎn)品線包括多波長(zhǎng)和多層分析算法，實(shí)現(xiàn)對(duì)零度薄膜的離散厚度測(cè)量，并且提供非線性溶解速率現(xiàn)象的準(zhǔn)確數(shù)據(jù)。更詳細(xì)的信息請(qǐng)?jiān)L問(wèn)：www.thicknessdetection.com.
概要
附著在基底上的薄膜就如同一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)具，當(dāng)觀察其表面的反射率時(shí)會(huì)看到一幅干涉條紋圖樣。當(dāng)組合不同折射率的材料時(shí)，條紋間隔的正弦曲線分布可以用來(lái)計(jì)算此薄膜的厚度。
光譜儀
USB4000-VIS-NIR (350-1000nm)適合用于薄膜的反射測(cè)量。光譜儀預(yù)先配置了#3光柵，它的閃耀波長(zhǎng)在500nm；一個(gè)OFLV-350-1000濾光片可以屏蔽二級(jí)和三級(jí)衍射效應(yīng)；以及一個(gè)25μm 狹縫，可以得到~1.5nm (FWHM)的光學(xué)分辨率。
取樣光學(xué)元件
R400-7-VIS/NIR反射式探頭，90°測(cè)量薄膜表面的鏡面反射。再加上一個(gè)LS-1鹵鎢燈光源和一個(gè)STANSSH高反射率鏡面反射標(biāo)準(zhǔn)參考，組成一套取樣配置。
測(cè)量
從海洋光學(xué)的操作軟件中(見(jiàn)上圖)可以觀察到由薄膜基底的膜層產(chǎn)生的干涉光譜。分析zui大值和zui小值處的波長(zhǎng)可以確定薄膜的厚度(已知薄膜的折射率)或者確定它的折射率(已知薄膜的厚度)。需要注意的是，樣本的厚度可能不是均勻的；建議測(cè)量薄膜的多個(gè)位置點(diǎn)。
【光譜測(cè)試儀器】
光纖光譜儀 微型光纖光譜儀 高分辨率光譜儀 高靈敏度光譜儀 制冷型光譜儀 中紅外光譜儀 熒光光譜儀 拉曼光譜儀 極紫外光譜儀 真空紫外光譜儀 多通道光譜儀 教學(xué)型光譜儀 LED光測(cè)量光譜儀 色坐標(biāo)色溫測(cè)量?jī)x 燈具光譜測(cè)量?jī)x 透射譜吸光度光譜儀 輻射光譜儀 流體吸光度光譜儀 流體熒光光譜儀 膜厚測(cè)量?jī)x 橢偏儀 太陽(yáng)能電池IPCE測(cè)量系統(tǒng) 太陽(yáng)能電池QE測(cè)量系統(tǒng) 太陽(yáng)能電池光譜響應(yīng)系統(tǒng) 單色儀 濾光片輪 濾光片透射率測(cè)試儀 太赫茲光譜儀 等離子體光譜儀 環(huán)境輻射儀 近紅外光譜儀 元素分析儀 氧含量測(cè)量 信號(hào)發(fā)生器 近紅外谷物接收系統(tǒng) 顆粒分析儀 熒光壽命光譜儀 三維表面輪廓儀 微型光譜儀
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