TFVT-1000型薄膜變溫電阻測試儀
Thin film variable temperature resistance tester
關鍵詞：薄膜電阻，電阻率，電導率
TFVT-1000型薄膜變溫電阻測試儀一款兼具薄膜和塊體（可擴展）的測試各種薄膜材料在高溫、真空、氣氛條件下的電阻和電阻率，可以用來分析樣品的電阻率隨溫度變化曲線、電阻溫阻系數、樣品相變溫度點。而且可廣泛用于光電、鐵電、熱電等各種導電材料的電阻率測量。是目前科研和生產的重要材料測量設備。
一、產品特點
1、采用進口恒流源與電壓表，確保測試的穩定性和性。
2、采用自適應PID控溫。
3、自動檢測樣品接觸特征曲線。
4、可在真空或氣氛（惰性氣體）環境下測量電阻隨溫度變化。
5、可實現常溫、變溫、恒溫條件的I-V、R-T、R-t等測量功能
二、主要技術參數：
1、溫度范圍：-190℃~1000℃（自動控溫，可連續采集）
2、電阻測量范圍：1μ?-100M?,準確度:±0.1%FS
3、溫度測量精度：±0.5℃
4、恒流源：0.05μA~1A，準確度：±1%FS（FS為滿量程值）
5、電壓：1μV~300V，準確度：±1%FS（FS為滿量程值）
6、真空度：≤50Pa
7、樣品尺寸：長 x 寬:(2~5)x(2~5)，單位mm,厚度:10nm-3mm
8、測試軟件：可實現常溫、變溫、恒溫條件的I-V、R-T、R-t等測量功能。
