GDWT-480型全自動型高低溫真空探針臺
關鍵詞：高低溫探針臺，半導體，光電，吉時利
GDWT-480型全自動型高低溫真空探針臺主要應用于I-V/C-V，PIV測試,傳感器，半導體，光電，集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的電子樣品測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本，可以配合Keithley,Tektronix等國內外各種源表對材料進行測試，可以做材料的介電，鐵電等測試,是目前高等院校和研究所及材料生產單位的重要輔助設備。
GDWT-480型自動型真空高低溫探針臺該探針臺尺寸高達59x59MM，不銹鋼臺面設計，可以達到高溫350℃。在真空方面采用真空腔體設計，具備進氣口和抽真空接口，三軸移動探針臂保證X/Y/Z三個方向均可在真空環境下移位調節，用戶可根據需要自行調節。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準檢測點后，即可進行檢測.
主要特點：
1、溫度可以從-190℃-350℃
2、探針不需要打算開觀察窗口，可以通過X/Y/Z三軸移動調節探針，
3、可以配真空，氣氛等多種功能。
4、三軸調節范圍：其中X方向0－28mm；y方向調節范圍：0－18mm；z方向調節范圍：0－18mm；
主要技術參數：
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真空腔體 |
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整內腔體尺寸 |
φ160 |
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觀察窗尺寸 |
Φ70mm |
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樣品臺尺寸 |
Φ60mm |
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觀察窗熱臺間距 |
74mm |
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加熱臺溫度 |
-190-350℃ |
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加熱臺溫控精度 |
±1℃ |
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真空度 |
機械泵≤10Pa 分子泵≤10-5Pa |
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電信號接頭 |
SMA轉BNC X 4 |
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電學性能 |
絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤500V |
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探針數量 |
4探針 |
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探針材質 |
鎢針 |
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探針尖 |
10μm（其他多種可選）0.5微米/1微米/2微米/5微米//20微米 |
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制冷 |
液氮/液氦/制冷機 |
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探針移動平臺 |
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X-Y-Z移動行程 |
30mm*25mm *25mm |
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結構 |
真空波紋管結構，三軸控制探針 |
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精度 |
≤0.01mm |
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漏電精度 |
10pA,100fA,10fA |
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接頭類型 |
BNC/三軸/鱷魚夾/香蕉頭/接線端子 |
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頻率支持 |
DC-67GHZ |
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針尖直徑 |
0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
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電子顯微鏡 |
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顯微鏡類別 |
物鏡(可以選配） |
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物鏡倍數 |
0.6-5.0倍(可以根據客戶要求進行選配） |
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工作間距 |
85mm |
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相機 |
sony 高清 |
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像素 |
200萬/500萬/1200萬 |
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圖像接口 |
VGA |
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LED可調光源 |
有 |
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顯示屏 |
9寸 |
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放大倍數 |
19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，小可分辨0.08mm |
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可選附件 |
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光學平臺 |
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屏蔽箱 |
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光電測試配件 |
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高壓測試配件 |
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激光系統 |
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氣敏測試系統 |
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