本設備由微波系統、真空系統、水冷系統等幾部分組成
電源:AC220V,50Hz
微波功率:0-1500W連續線性可調(或0-800W連續線性可調)
微波頻率:2450MHz±50MHz
石英管反應室:φ50mm
放置樣品的基片臺可以方便地在放電腔內上下升降調節
放電腔兩端有雙層水冷套作降溫保護

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