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FS4001系列小氣體質量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。
這一系列傳感器均采用本公司研發的微機電系統（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。
獨特的封裝技術使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統流量傳感器。
產品特點：
FS4001/FS4003/FS4008氣體流量傳感器-傳感器靈敏度高,有小的始動流量
FS4001氣體流量傳感器-傳感器芯片采用熱質量流量計量,無需溫度壓力補償,保證了傳
FS4001/FS4003/FS4008氣體流量傳感器-感器的計量
FS4001氣體流量傳感器-在單個芯片上實現了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高
FS4001/FS4003/FS4008氣體流量傳感器-傳感器的零點穩定度高
FS4001/FS4003/FS4008氣體流量傳感器-全量程高穩定性
FS4001/FS4003/FS4008氣體流量傳感器-全量程高度和優良的重復性
FS4001/FS4003/FS4008氣體流量傳感器-低功耗，低壓損
FS4001/FS4003/FS4008氣體流量傳感器-響應時間快
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小流量氣體傳感器均采用（MEMS）流量傳感芯片來制作。
產品適用于各類清潔氣體的應用。獨特的封裝技術使之可應用于各類管徑（3～50mm）。
氣體小流量傳感器-實驗室氣體流量計30ml/min成本低、易安裝、不需溫壓補償，可替代容積式或壓差原理的傳統流量計并可配以多種信號輸出，通過通訊接口實現網絡管理功能
FS4001/FS4003/FS4008氣體流量傳感器
FS4001微型氣體流量傳感器
FS4001-微小氣體質量流量計
