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價格：電議
所在地：全國
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更新時間：2011-12-12
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產(chǎn)品型號： 產(chǎn)品簡介： 供氣(混氣)系統(tǒng) (質(zhì)量流量計) 可用于多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)，尤其方便多種氣體的切換混合使用；氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀，操作方便；每一條氣體管路均有一個高壓截止閥，安全可靠！ 本系統(tǒng)廣泛用于CVD供氣系統(tǒng)，氣體保護燒結(jié)，氣體保護退火等。 主要特點： 1．本配比器適用于低壓小流量,多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其是方便三種氣體切換使用，而不會造成大氣進入加熱爐管。 2．氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀，外形美觀、實用，操作簡便。 3．每一條氣體管路均有一個高壓截止閥，安全有保證。 4．顯示流量準確，可有效地控制氣體消耗量。 5．所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接，便于維修拆卸。 技術(shù)參數(shù)： 氣路通道： 2 (可根據(jù)客戶需求設(shè)計1-8通道) 氣路流量控制： 采用浮子流量計： 量 程(ml/min) ：6～60，10～100，16～160 精 度(空氣) ：1 ml/格(6～60 ml/min) 2 ml/格(10～100，16～160 ml/min) 工作壓差范圍 ：0.1～0.5 MPa 大 壓 力 ：3 MPa 接 口： Φ6,1/ 顯 示： 刻度 工作環(huán)境溫度:5~ 高純氣體不銹鋼管：Φ6外X Φ4內(nèi) 壓 力 真 空 表 ：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截 止 閥 ：Φ6
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