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JKMDS-600型冷熱臺是使用最為廣泛的THMS600型高精度冷熱臺的加強型。其寬泛的溫度范圍(-196°C到600°C)和升溫速率(0.1到150°C/min),以及高精度(全程0.1°C)和高穩定(...
JKMDS-600型冷熱臺
冷熱臺作為一種能夠精確控制樣品溫度的實驗設備,為半導體材料研究提供了有力支持。通過冷熱臺,科研人員可以在不同的溫度條件下對材料進行性能測試,了解材料的熱穩定性、導電性、光學性能等關鍵參數。此外,冷熱臺還能模擬材料在極端溫度環境下的表現,為材料的應用提供重要的參考數據。
JKMDS-600型冷熱臺是使用最為廣泛的THMS600型高精度冷熱臺的加強型。其寬泛的溫度范圍(-196°C到600°C)和升溫速率(0.1到150°C/min),以及高精度(全程0.1°C)和高穩定(<0.1°C),使其在各行業得到廣泛的應用。
其中的關鍵組件熱臺由銀質加熱塊、測溫元件以及密閉腔室組成。樣品放置在0.17mm厚的蓋玻片上,蓋玻片放置在高度拋光的銀質加熱元件上。銀質加熱元件保證了極佳的熱傳遞和溫度測量。精度高于0.1°C的鉑電阻傳感器提供了非常精確和穩定的溫度信號。樣品腔室是氣密的,氣體閥可以控制腔室內的環境,即惰性氣體或濕度。
可以自動儲存150對XY軸坐標,全電動式移動。
參數:
溫度范圍-196°C 到600 °C (-196℃需選擇專用冷卻系統)
可控加熱速率0.1到150°C/min
通過l
馬達位置分辨率0.05μm
位置重復性<3um
150 X,Y 坐標可以存儲
最大15mm X,Y 移動
手動或計算機操作
可定義計算機掃描區域
7, 10 或16mm樣品夾持器可用
全部速度范圍內消除樣品抖動
與圖像系統聯用,記錄樣品測定全過程
通風的底部窗口消除冷凝現象
最新設計的上蓋可以允許快速更換鏡頭
使用熱臺支架直接安裝熱臺
物鏡工作距離.1mm 到4.9mm
聚光鏡最小工作距離12.7mm
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