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產品詳情
- 產品/服務：aixDBLI雙光束激光干涉儀
- 單 價：面議
- 更新日期：2024-09-18
- 有效期至：長期有效
- 瀏覽次數：1513
產品簡介
雙光束激光干涉儀 aixDBLI(Double Beam Laser Interferometer)雙光束激光干涉儀專門用于壓電薄膜的蝴蝶曲線和縱向壓電系數d33的測試。這是適合于從小尺寸薄膜到8英寸晶圓表征的雙光束激光干涉儀...
產品詳細介紹
雙光束激光干涉儀 aixDBLI
(Double Beam Laser Interferometer)
雙光束激光干涉儀專門用于壓電薄膜的蝴蝶曲線和縱向壓電系數d33的測試。
這是適合于從小尺寸薄膜到8英寸晶圓表征的雙光束激光干涉儀。
半自動的系統用于8"晶圓上的MEMS器件的壓電性和電性相關性能的測試。
大量樣品測試的重復精度可達2%以上。
測試功能：
機電大信號應變、極化、壓電系數、小信號介電常數。
疲勞和電性及機械性能可靠性。
樣品測試：
極化曲線和位移曲線。
小信號電容及壓電系數。
技術參數：
分辨率： ≤1 pm（X晶向的石英）
測量范圍：5pm- +/- 25nm
波長：632.8nm
位移/應力測試：>50Hz，最小1Hz分辨率，100mV到10V（可選到200V）
壓電d33系數：
基電壓100mV到10V（1mHz到1Hz），可選到200V
小信號100mV到10V（1kHz到5kHz）
C-V測試：
基電壓100mV到10V（1mHz到1Hz），可選到200V
小信號100mV到10V（1kHz到5kHz）
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